- 功能特性:用于行业钟表行业、3C行业、五金行业、精密模具业、工具行业等用于产品表壳表带、钻头、硬质合金、铣刀、冲棒标准件模具、成型模具等涂层类型氮化钛（TiN）、氮碳化钛（TiCN）、氮化铬（CrN）、氮化铝钛（TiAIN）、碳化钛（TiC）www.foxinzk.com/www.foxinzk.cn- 详细介绍:FOXIN-PVD 多弧离子溅射镀膜机型号（直径1.2mm以内）性能型号PVD-0708PVD-0809PVD-0910PVD-1012PVD-1212PVD-1215真空室尺寸:mmФ700×H800Ф800×H900Ф900×H1000Ф1000×H1200Ф1200×H1200Ф1200×H1500真空室结构立式前开门结构配置抽气系统及水冷系统真空获得系统维持泵+机械泵+罗茨泵+扩散泵或分子泵（具体型号可根据客户的要求进行配置）真空测量系统 一台皮拉尼(MKS)  一台冷阴极(MKS)  一台薄膜规(MKS)电源类型直流电源、中频电源、脉冲电源 （偏压电源、弧电源）极限真空指标空载冷态 1.0一 6.0×10-4Pa电弧源6台-8台6台-8台8台-12台8台-12台10台-14台10台-14台200A-300A200A-300A200A-300A200A-300A200A-300A200A-300A偏压电源20KW/1台20KW/1台20KW/1台30KW/1台30KW/1台30KW/1台磁控电源1台-2台1台-2台2台-3台2台-3台2台-3台2台-3台工件转动方式多轴行星式公自转、变频调速（可控可调）工件烘烤温度常温-300℃至450℃-600℃可控可调（PID温控）工艺气体3路或4路工艺气体流量控制及显示系统选配自动加气系统氩气、氮气、氧气、乙炔等冷却方式水冷却循环方式，另配工业冷却水塔或工业冷水机（制冷机)或深冷系统。（客户提供）控制方式PLC+触摸屏操作或计算机控制，手动、半自动、自动方式、供给指标气压0.5-0.8MPa、水温≤25℃、水压≥0.2MPa、报警及保护对泵和靶等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警，并执行相应保护措施及电气联锁功能。整机总功率25~65KW45~85KW65~105KW85~115KW95~125KW100~130KW输出频率电压380V±5% ，频率50Hz（可根据客户国家用电标准配置）设备占地面积15~50m²15~50m²25~55m²25~55m²35~55m²35~55m²备注可根据用户要求设计制造非标设备，可加装磁控溅射靶、中频孪生对靶等。www.foxinzk.com/www.foxinzk.cn