制氢制氧制氮设备气体流量计ALICAT-MCR20质量流量计艾里卡特Alicat气体质量流量控制器快速、准确地确定稳定的流量。与任何其它产品相比，我们的质量流量控制器能够更快地到达其设定值，使其能够抑制管线压力波动，因而不会影响您的过程下游。定制化阀门选配项和出厂PID调节能确保您的MFC在具体应用中具备良好性能。基于压力的质量流量仪表的性能：在大多数流量仪表上0.6%的读数精度4 ms响应时间无需预热四个过程变量内置的显示工业协议压力补偿温度补偿宽动态流量范围制氢制氧制氮设备气体流量计ALICAT-MCR20质量流量计MC系列气体质量流量控制器是我们的标准质量流量控制器，其型号众多，可测量高达5000 slpm或者低至0.0025 sccm的流速。若管线压力较高（145-305 psig），请选择MCQ系列高压气体质量流量控制器。MCW系列低压损气体质量流量控制器适用于低压损应用环境、泄漏测试，也能缩短50 scccm或更低流速条件下的气动响应时间。若您需要现有热式质量流量控制器的简易替换件，MCE系列真空气体质量流量控制器将阀门置于内部，使其工艺连接件与SEMI标准长度相符。对于真用应用，MCV系列真空气体质量流量控制器是在MCE系列的基础上另增加一气动截止阀。BASIS系列OEM气体质量流量控制器是艾里卡特的紧凑型质量流量控制器系列，设计用于OEM应用和大量订单环境。为满足生物反应器市场的需求，Alicat发布了世界上用于生物行业的BIO系列气体质量流量控制器。