1.底座支架— 双重被动减震机构2.工作平台— 高质量花岗岩平台3.三轴导轨— 全封闭，全花岗岩材质传动系统— 摩擦式“自纠偏”传动4.关键部件— 原装进口5.光栅尺— 雷尼绍高精度光栅尺气浮导轨— 四面环抱式设计6.专利小孔出气技术 型号WH-565D-CNCWH-686D-CNCWH-8106D-CNCWH-101508D-CNCWH-102008D-CNC测量范围（XYZ）500*600*500600*800*600800*1000*6001000*1500*8001000*2000*800外部尺寸（mm）1200*1700*26001300*1700*27001500*1800*27001900*2800*31002300*3100*3100重量(kg）1500Kg2100 Kg2400 Kg3900 Kg4800 Kg承重（kg）1000Kg1500 Kg1500 Kg2500 Kg2500 Kg长度精度1.7+L/300μm1.8+L/300μm1.9+L/300μm1.9+L/300μm1.9+L/300μm探测球精度1.9μm光栅分辨率0.1um3D移动速度520mm/s3D加速1200mm/s供气系统最小供气压力 Min.   Air Pressure:                5.5bar(0.55MPa)耗气量 Air Consumption:                      250NL/min供电系统电压 Voltage:                                 220V ± 10%频率   Frequency:                               50/60 Hz电流Current:                                  15 A设备功率Power: